中國科學家開發出面向新型芯片絕緣材料「人造藍寶石」

2024-08-08
中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員田子傲稱,原位插層氧化技術的核心在於精準控制氧原子一層一層有序嵌入金屬元素的晶格中;傳統氧化鋁材料通常呈無序結構,這會導致其在極薄層面...